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菲希爾X射線測(cè)厚儀FISCHERSCOPE X-RAY XULM240核心技術(shù)與硬件配置
X 射線源:50 kV/50 W 鎢靶微聚焦 X 射線管(鈹窗口),焦點(diǎn)≤50 μm;高壓三檔可調(diào)(30/40/50 kV);4 個(gè)電動(dòng)切換準(zhǔn)直器(最小 0.05×0.05 mm,標(biāo)配含 ?0.1 mm、?0.2 mm 等),3 個(gè)自動(dòng)切換基本濾片;比例計(jì)數(shù)管探測(cè)器,兼顧高計(jì)數(shù)率與快速測(cè)量。
定位與觀察:內(nèi)置 500 萬(wàn)像素彩色視頻顯微鏡,38×–184× 光學(xué)變焦,實(shí)時(shí)顯示測(cè)量點(diǎn);手動(dòng) XY 工作臺(tái)(行程 30×40 mm),定位精度 ±0.005 mm;測(cè)量方向?yàn)閺南峦希珻 型開(kāi)槽樣品艙可容納高度 174 mm 的樣品。
軟件與標(biāo)準(zhǔn):搭載 WinFTM® 軟件(標(biāo)配 LIGHT 版,可選 BASIC/PDM/SUPER),支持 100 組程序預(yù)設(shè)、數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)、報(bào)告生成與導(dǎo)出;符合 DIN ISO 3497、ASTM B568 及德國(guó) RoV 射線安全法規(guī)。
關(guān)鍵性能指標(biāo)
最小測(cè)量點(diǎn):約 0.09×0.09 mm(≈?0.1 mm)
精度:Au > 0.1 μm 時(shí),標(biāo)樣校準(zhǔn)誤差<±5%;無(wú)標(biāo)樣<±10%;80 nm 金鍍層重復(fù)精度達(dá) 2.5 nm,COV(變異系數(shù))<5%
測(cè)量距離:0–27.5 mm 可調(diào),支持 DCM 距離補(bǔ)償
元素范圍:Cl(17)~ U(92),可同時(shí)分析最多 5 種元素,支持單 / 雙 / 三鍍層、合金鍍層厚度測(cè)量,以及 4 元合金成分分析
樣品參數(shù):高度 174 mm,XY 工作臺(tái)承重 2 kg;整機(jī)尺寸 403×588×444 mm,約 45 kg

